Kadangi gamintojas daugiau nei dešimtmetį daugiausia dėmesio skiria linijiniams kreipiamiesiems bėgiams ir slankikliams, dažnai sulaukiame klausimų iš puslaidininkinės įrangos kūrėjų: kas yra svarbiausia norint išlaikyti judesio komponentų stabilumą naudojant ilgo -eigos ir didelės{1}} apkrovos įrenginius?
Atsakymas iš mūsų realios{0}}pasaulio patirties dirbant su daugybe puslaidininkių gamintojų yra tinkamo išplėstinio slankiklio pasirinkimas-ir mūsųHG serijos išplėstinis slankiklisyra specialiai sukurta šiai problemai išspręsti.
Puslaidininkių pramonėje, kur net 0,1 μm padėties nustatymo klaida gali sukelti plokštelių išmetimą ir gamybos praradimą, slankiklio pasirinkimas nėra tik komponento sprendimas,{1}}tai yra esminis bendro veikimo efektyvumo veiksnys.
1. Reikalavimai puslaidininkinei įrangai slankikliams
Puslaidininkių gamyba labai priklauso nuo ilgų{0}}kelionių judesių sistemų: nuo didelio-formato plokštelių tvarkymo robotų ir tikrinimo etapų iki tikslios zondavimo įrangos ir litografijos mašinos komponentų.
Šios sistemos veikia 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę kontroliuojamoje švarioje patalpoje, kur dėl nuoseklumo ir stabilumo negalima -derėtis.
Standartiniai slankikliai, nors ir tinkami trumpo-eigos programoms, pvz., mažo-masto automatizavimui, dažnai susiduria su deformacija, kai stumiami į ilgesnį ilgį (paprastai 1,5 m ar daugiau).
Dėl šio -net mažo{1}} įlinkio{1}} atsiranda padėties nustatymo klaidų, padidėja vibracija ir per anksti susidėvi slankiklis ir kreipiamasis bėgis.
Laikui bėgant tai reiškia dažnesnę priežiūrą, neplanuotą prastovą ir mažesnes gamybos sąnaudas{0}}, kurios greitai didėja puslaidininkių gamintojams.
2. Kaip HG serijos išplėstinis slankiklis išsprendžia šiuos skausmo taškus?
Štai kur mūsųHG serijos išplėstinis slankiklisišsiskiria iš standartinių variantų. Skirtingai nuo įprastų slankmačių, kurių korpusas trumpesnis ir ribotas kontaktas su kreipiamuoju bėgeliu, HG serijos prailgintas slankiklis turi pailgintą korpuso dizainą, kuris padidina sąlyčio plotą tarp slankiklio ir bėgio 35%. Šis papildomas kontaktas nėra tik dizaino pasirinkimas-, jis sukurtas taip, kad padidintų standumą 40 %, palyginti su standartiniais modeliais, efektyviai pašalindamas deformaciją net esant didelėms apkrovoms (iki 500 kg) ir ilgai judant. Puslaidininkinei įrangai, kuri nuolat veikia švariose patalpose, toks stabilumo lygis yra ne tik malonus-,-turėjimas-būtinybė išlaikyti pastovų tikslumą ir išvengti brangių klaidų.
3. Tikras atvejis: plokštelių zondavimo įranga nuo kasmėnesio remonto iki šešių mėnesių be problemų
Norėdami pažvelgti į tai perspektyvoje, pažvelkime į realų{0}}pasaulio pavyzdį iš mūsų neseniai vykusio bendradarbiavimo. Bendradarbiavome su puslaidininkinės įrangos gamintoju, kuris specializuojasi plokštelių zondavimo sistemų,-įrangos, kuriai reikalingas itin-tikslus judesys, gamyboje, kad būtų galima patikrinti plokštelių elektrinį veikimą. Jų pradinėje sąrankoje buvo naudojami standartiniai slankikliai, kurie pradėjo svyruoti po 8 mėnesių nuolatinio naudojimo. Dėl šio nuokrypio zondai buvo neteisingai suderinti, todėl bandymo duomenys buvo netikslūs ir plokštelės buvo išmestos. Perjungę į HG serijos išplėstinį slankiklį, jie pamatė tiesioginius ir išmatuojamus rezultatus: padėties nustatymo poslinkis buvo visiškai pašalintas, priežiūros dažnis sumažėjo 50 % (nuo kasmėnesio iki du{9}}mėnesio), o jų gamybos pajamingumas padidėjo 7 %-, tai yra reikšmingas pelnas pramonėje, kurioje net 1 % derliaus padidėjimas gali reikšti tūkstančius sutaupyti.
4. Suderinamumas su švaria patalpa ir ilgaamžiškumas
Kitas svarbus privalumasHG serijos išplėstinis slankiklisyra jo suderinamumas su griežtais puslaidininkių švarių patalpų aplinkos reikalavimais. Optimizavome sandariklio dizainą naudodami dvigubą-lūpų fluoro gumos sandariklį ir labirintinį oro srauto barjerą, kuris sumažina dalelių susidarymą, kad atitiktų ISO 1 klasės švarių patalpų standartus. Tai labai svarbu puslaidininkių gamybai, kai net viena dalelė (iki 0,3 μm) gali užteršti plokšteles ir sugadinti visas gamybos partijas. Be to, HG serijos išplėstinis slankiklis naudoja labai -dėvėjimuisi atsparų vakuuminį-dujų guolių plieną, todėl jo eksploatavimo laikas pailgėja iki daugiau nei 100 000 valandų{10}}daug ilgiau nei standartinių slankiklių vidurkis – 60 000 valandų. Tai ne tik sumažina pakeitimo išlaidas, bet ir sumažina neplanuotą prastovą, todėl gamybos linijos veikia sklandžiai.
5. Lengva integracija be didelių pertvarkymų
Taip pat verta paminėti, kad HG serijos išplėstinis slankiklis skirtas lengvai integruoti su esama puslaidininkine įranga. Priešingai nei kai kurie išplėstiniai slankikliai, kuriems reikia didelių konstrukcijos pakeitimų, mūsų HG serijos išplėstinis slankiklis tinka standartiniams kreipiamųjų bėgelių profiliams, todėl daugumos sistemų{1}}naujovinimas sumažėja. Tai reiškia, kad gamintojams nereikia investuoti į brangiai kainuojančios įrangos perprojektavimą, kad gautų naudos iš geresnio jos stabilumo ir ilgaamžiškumo -dar viena priežastis, dėl kurios puslaidininkinės įrangos kūrėjai pasirenka-.
6. Išvada
Puslaidininkių pramonėje, kur tikslumas, patikimumas ir efektyvumas yra viskas, tinkamas linijinis slankiklis gali padaryti viską. Standartiniai slankikliai dažnai neatitinka ilgo-eigos, didelės-apkrovos, tačiau mūsų HG serijos išplėstinis slankiklis sukurtas taip, kad atitiktų sunkiausias puslaidininkių gamybos sąlygas. Nuo prailginto korpuso dizaino, kuris padidina standumą, iki švarios patalpos-suderinamo sandariklio ir ilgo tarnavimo laiko, jis sukurtas taip, kad užtikrintų nuoseklumą ir našumą, kurio reikia įrangos gamintojams, kad jų linijos veiktų efektyviai ir pelningai.
Pasirinkite tinkamą išplėstinį slankiklį – jūsų puslaidininkinė įranga veiks stabiliai ir tarnaus ilgiau
